Válvula micro ajustable continuamente basada en un actuador piezoeléctrico para control de flujo de alta precisión
Autores: Ding, Yingli; Cai, Yongzhi; Li, Yanmei
Idioma: Inglés
Editor: MDPI
Año: 2022
Acceso abierto
Artículo científico
2022
Válvula micro ajustable continuamente basada en un actuador piezoeléctrico para control de flujo de alta precisión
Categoría
Ingeniería y Tecnología
Subcategoría
Ingeniería Eléctrica y Electrónica
Palabras clave
Válvula micro
Actuador piezoeléctrico
Control de caudal
Unión de poliimida
Método de elementos finitos
Voltaje de actuación
Licencia
CC BY-SA – Atribución – Compartir Igual
Consultas: 26
Citaciones: Sin citaciones
Se presenta una válvula microelectromecánica (MEMS) equipada con un actuador piezoeléctrico para lograr un control de la tasa de flujo ajustable de manera continua.
Descripción
Se presenta una válvula microelectromecánica (MEMS) equipada con un actuador piezoeléctrico para lograr un control de la tasa de flujo ajustable de manera continua.