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Una revisión de las oportunidades del proceso FET de Nanohojas Gate-All-Around

Autores: Mukesh, Sagarika; Zhang, Jingyun

Idioma: Inglés

Editor: MDPI

Año: 2022

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Acceso abierto

Artículo científico
2022

Una revisión de las oportunidades del proceso FET de Nanohojas Gate-All-Around


Categoría

Ingeniería y Tecnología

Subcategoría

Ingeniería Eléctrica y Electrónica

Palabras clave

Innovaciones
Gate-all-around
Nanosheet FET
Voltajes de umbral
Geometría del canal
Desafíos de escalado

Licencia

CC BY-SA – Atribución – Compartir Igual

Consultas: 23

Citaciones: Sin citaciones


Descripción
En este documento, se revisan las innovaciones en el diseño del dispositivo del transistor de efecto de campo de lámina nanométrica (FET) tipo compuerta-totalmente-alrededor (GAA). Estas innovaciones abarcan la posibilidad de múltiples voltajes de umbral y aislamiento dieléctrico inferior, además del impacto de la geometría del canal en el rendimiento general del dispositivo. Se revisan y discuten los desafíos actuales de escalamiento para los FET de lámina nanométrica GAA. Finalmente, se analiza las futuras innovaciones necesarias para continuar escalando los FET de lámina nanométrica y las tecnologías futuras.

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