En este documento, se propone una interfaz de transferencia de energía inalámbrica (WPT) sub-THz para pruebas a nivel de oblea sin contacto. Los acopladores sub-THz en chip, que han sido diseñados y analizados con simulaciones EM 3-D, podrían integrarse en el WPT para transferir energía a través de un medio de aire. Al utilizar las bobinas sub-THz, el WPT ocupa un tamaño de chip extremadamente pequeño, lo que es adecuado para futuras aplicaciones de pruebas de obleas. En la mejor condición de eficiencia de transferencia de energía (PTE) del WPT, la entrega de potencia máxima está limitada a 2.5 mW por canal. Sin embargo, un WPT sub-THz de varios canales podría ser una buena solución para proporcionar suficiente potencia para fines de prueba manteniendo una alta PTE. Simulado en una tecnología CMOS estándar de 28 nm, el WPT de ocho canales propuesto podría proporcionar 20 mW de potencia con una PTE del 16%. Los diseños del transmisor y receptor del WPT de ocho canales ocupan solo 0.12 mm y 0.098 mm, respectivamente.