Un resonador de modo a granel de extensión novedoso con voltajes de polarización bajos
Autores: Jia, Qianqian; Chen, Zeji; Liu, Wenli; Yang, Jinling; Zhu, Yinfang; Yang, Fuhua
Idioma: Inglés
Editor: MDPI
Año: 2022
Acceso abierto
Artículo científico
2022
Un resonador de modo a granel de extensión novedoso con voltajes de polarización bajos
Categoría
Ingeniería y Tecnología
Subcategoría
Ingeniería Eléctrica y Electrónica
Palabras clave
Novela
Resonador acústico a granel
Voltajes de polarización bajos
Silicio sobre aislante
Coeficiente de acoplamiento electromecánico
Dispositivos de referencia de tiempo de alto rendimiento
Licencia
CC BY-SA – Atribución – Compartir Igual
Consultas: 38
Citaciones: Sin citaciones
Este documento presenta un resonador acústico de volumen en forma de - novedoso con bajos voltajes de polarización. Los flanges cóncavos se acoplaron con vigas rectas para aumentar efectivamente el área de transducción. Se desarrolló un proceso de fabricación basado en silicio sobre aislante (SOI) para producir espacios de separación a escala nanométrica. Los diseños de anclaje se optimizaron para minimizar la pérdida de anclaje. Con un coeficiente de acoplamiento electromecánico sustancialmente mejorado, el BAR de alta rigidez puede ser llevado a vibraciones con bajos voltajes de polarización de hasta 3 V. El resonador, vibrando a 20 MHz, implementa valores de 3600 y 4950 en aire y vacío, respectivamente. Se investigaron estrategias para mejorar aún más el rendimiento y la robustez del resonador. El resonador tiene una prometedora compatibilidad con IC y podría tener potencial para el desarrollo de dispositivos de referencia de tiempo de alto rendimiento.
Descripción
Este documento presenta un resonador acústico de volumen en forma de - novedoso con bajos voltajes de polarización. Los flanges cóncavos se acoplaron con vigas rectas para aumentar efectivamente el área de transducción. Se desarrolló un proceso de fabricación basado en silicio sobre aislante (SOI) para producir espacios de separación a escala nanométrica. Los diseños de anclaje se optimizaron para minimizar la pérdida de anclaje. Con un coeficiente de acoplamiento electromecánico sustancialmente mejorado, el BAR de alta rigidez puede ser llevado a vibraciones con bajos voltajes de polarización de hasta 3 V. El resonador, vibrando a 20 MHz, implementa valores de 3600 y 4950 en aire y vacío, respectivamente. Se investigaron estrategias para mejorar aún más el rendimiento y la robustez del resonador. El resonador tiene una prometedora compatibilidad con IC y podría tener potencial para el desarrollo de dispositivos de referencia de tiempo de alto rendimiento.