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Un resonador de modo a granel de extensión novedoso con voltajes de polarización bajos

Autores: Jia, Qianqian; Chen, Zeji; Liu, Wenli; Yang, Jinling; Zhu, Yinfang; Yang, Fuhua

Idioma: Inglés

Editor: MDPI

Año: 2022

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Acceso abierto

Artículo científico
2022

Un resonador de modo a granel de extensión novedoso con voltajes de polarización bajos


Categoría

Ingeniería y Tecnología

Subcategoría

Ingeniería Eléctrica y Electrónica

Palabras clave

Novela
Resonador acústico a granel
Voltajes de polarización bajos
Silicio sobre aislante
Coeficiente de acoplamiento electromecánico
Dispositivos de referencia de tiempo de alto rendimiento

Licencia

CC BY-SA – Atribución – Compartir Igual

Consultas: 38

Citaciones: Sin citaciones


Descripción
Este documento presenta un resonador acústico de volumen en forma de - novedoso con bajos voltajes de polarización. Los flanges cóncavos se acoplaron con vigas rectas para aumentar efectivamente el área de transducción. Se desarrolló un proceso de fabricación basado en silicio sobre aislante (SOI) para producir espacios de separación a escala nanométrica. Los diseños de anclaje se optimizaron para minimizar la pérdida de anclaje. Con un coeficiente de acoplamiento electromecánico sustancialmente mejorado, el BAR de alta rigidez puede ser llevado a vibraciones con bajos voltajes de polarización de hasta 3 V. El resonador, vibrando a 20 MHz, implementa valores de 3600 y 4950 en aire y vacío, respectivamente. Se investigaron estrategias para mejorar aún más el rendimiento y la robustez del resonador. El resonador tiene una prometedora compatibilidad con IC y podría tener potencial para el desarrollo de dispositivos de referencia de tiempo de alto rendimiento.

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