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Transferencia Selectiva de Microchips de Película Delgada de Si mediante Terraces de SiO en Chips Anfitriones para Autoensamblaje Fluídico

Autores: Fujita, Yutaka; Ishihara, Shoji; Nakashima, Yuki; Nishigaya, Kosuke; Tanabe, Katsuaki

Idioma: Inglés

Editor: MDPI

Año: 2021

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Acceso abierto

Artículo científico
2021

Transferencia Selectiva de Microchips de Película Delgada de Si mediante Terraces de SiO en Chips Anfitriones para Autoensamblaje Fluídico


Categoría

Ingeniería y Tecnología

Subcategoría

Ingeniería Mecánica

Palabras clave

Autoensamblaje fluidico
Método de integración en chip
Microchips semiconductores
Sustrato de Si
Matriz de bolsillos
Capa de SiO
Selectividad de deposición
Interacción de van der Waals
Dieléctricos intercapas
HfO
Silsesquioxanos
éteres de alilo

Licencia

CC BY-SA – Atribución – Compartir Igual

Consultas: 27

Citaciones: Sin citaciones


Descripción
La autoensamblaje fluidico es un método versátil de integración en chip. En este esquema, un gran número de microchips semiconductores se depositan espontáneamente sobre un chip anfitrión. El chip anfitrión típicamente comprende un sustrato de Si con una serie de bolsillos en los sitios designados para la colocación de microchips. En este estudio, instalamos una capa de SiO en la región de la terraza entre los bolsillos del chip anfitrión, para reducir la atracción con los microchips de Si. Con el esquema de terraza cubierta de SiO, demostramos una mejora significativa en la selectividad de deposición de los microchips de Si hacia los sitios de los bolsillos, en comparación con el caso del chip anfitrión convencional solo de Si. Explicamos teóricamente la mejora en la selectividad de deposición en términos de la interacción de van der Waals. Además, nuestro análisis cuantitativo implicó una posible aplicabilidad de los dieléctricos intercapas comúnmente utilizados, como HfO, silsesquioxanos y éteres alílicos, directamente como componente de la terraza.

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