Transferencia Selectiva de Microchips de Película Delgada de Si mediante Terraces de SiO en Chips Anfitriones para Autoensamblaje Fluídico
Autores: Fujita, Yutaka; Ishihara, Shoji; Nakashima, Yuki; Nishigaya, Kosuke; Tanabe, Katsuaki
Idioma: Inglés
Editor: MDPI
Año: 2021
Acceso abierto
Artículo científico
2021
Transferencia Selectiva de Microchips de Película Delgada de Si mediante Terraces de SiO en Chips Anfitriones para Autoensamblaje Fluídico
Categoría
Ingeniería y Tecnología
Subcategoría
Ingeniería Mecánica
Palabras clave
Autoensamblaje fluidico
Método de integración en chip
Microchips semiconductores
Sustrato de Si
Matriz de bolsillos
Capa de SiO
Selectividad de deposición
Interacción de van der Waals
Dieléctricos intercapas
HfO
Silsesquioxanos
éteres de alilo
Licencia
CC BY-SA – Atribución – Compartir Igual
Consultas: 27
Citaciones: Sin citaciones
La autoensamblaje fluidico es un método versátil de integración en chip. En este esquema, un gran número de microchips semiconductores se depositan espontáneamente sobre un chip anfitrión. El chip anfitrión típicamente comprende un sustrato de Si con una serie de bolsillos en los sitios designados para la colocación de microchips. En este estudio, instalamos una capa de SiO en la región de la terraza entre los bolsillos del chip anfitrión, para reducir la atracción con los microchips de Si. Con el esquema de terraza cubierta de SiO, demostramos una mejora significativa en la selectividad de deposición de los microchips de Si hacia los sitios de los bolsillos, en comparación con el caso del chip anfitrión convencional solo de Si. Explicamos teóricamente la mejora en la selectividad de deposición en términos de la interacción de van der Waals. Además, nuestro análisis cuantitativo implicó una posible aplicabilidad de los dieléctricos intercapas comúnmente utilizados, como HfO, silsesquioxanos y éteres alílicos, directamente como componente de la terraza.
Descripción
La autoensamblaje fluidico es un método versátil de integración en chip. En este esquema, un gran número de microchips semiconductores se depositan espontáneamente sobre un chip anfitrión. El chip anfitrión típicamente comprende un sustrato de Si con una serie de bolsillos en los sitios designados para la colocación de microchips. En este estudio, instalamos una capa de SiO en la región de la terraza entre los bolsillos del chip anfitrión, para reducir la atracción con los microchips de Si. Con el esquema de terraza cubierta de SiO, demostramos una mejora significativa en la selectividad de deposición de los microchips de Si hacia los sitios de los bolsillos, en comparación con el caso del chip anfitrión convencional solo de Si. Explicamos teóricamente la mejora en la selectividad de deposición en términos de la interacción de van der Waals. Además, nuestro análisis cuantitativo implicó una posible aplicabilidad de los dieléctricos intercapas comúnmente utilizados, como HfO, silsesquioxanos y éteres alílicos, directamente como componente de la terraza.