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Impacto de la temperatura de recocido térmico rápido en las características de polarización de un condensador ferroeléctrico basado en PZT

Autores: Yu, Hanyeong; Shin, Changhwan

Idioma: Inglés

Editor: MDPI

Año: 2021

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Acceso abierto

Artículo científico
2021

Impacto de la temperatura de recocido térmico rápido en las características de polarización de un condensador ferroeléctrico basado en PZT


Categoría

Ingeniería y Tecnología

Subcategoría

Ingeniería Eléctrica y Electrónica

Palabras clave

Metal
Ferroelectric
Capacitor
Temperature
Annealing
PZTmetal
Ferroeléctrico
Condensador
Temperatura
Recocido
PZT

Licencia

CC BY-SA – Atribución – Compartir Igual

Consultas: 31

Citaciones: Sin citaciones


Descripción
Se fabricó un condensador metal-ferroeléctrico-metal (MFM) para investigar el efecto de la tasa de cambio de temperatura en el proceso de recocido térmico rápido (RTA) en las propiedades físicas de la capa ferroeléctrica del condensador MFM [óxido de circonato de plomo (PZT)].

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