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Importancia de la temperatura de evaporación del disolvente en la etapa de pre-annealing para transistores de película delgada de óxido de zinc y estaño procesados por solución

Autores: Jeon, Sang-Hwa; Wang, Ziyuan; Seo, Kyeong-Ho; Feng, Junhao; Zhang, Xue; Park, Jaehoon; Bae, Jin-Hyuk

Idioma: Inglés

Editor: MDPI

Año: 2022

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Acceso abierto

Artículo científico
2022

Importancia de la temperatura de evaporación del disolvente en la etapa de pre-annealing para transistores de película delgada de óxido de zinc y estaño procesados por solución


Categoría

Ingeniería y Tecnología

Subcategoría

Ingeniería Eléctrica y Electrónica

Palabras clave

Temperatura
Evaporación del solvente
Etapa de pre-annealing
óxido de zinc estaño
Transistores de película delgada
Movilidad del efecto de campo

Licencia

CC BY-SA – Atribución – Compartir Igual

Consultas: 24

Citaciones: Sin citaciones


Descripción
Nos enfocamos en la importancia de la evaporación del disolvente regida por la temperatura de la etapa de pre-annealing (T) en transistores de película delgada de óxido de zinc y estaño (ZTO) procesados por solución. Controlamos T basándonos en el punto de ebullición (B) del disolvente utilizado. Cuando T alcanza el B, se encuentra que la movilidad de efecto de campo es de aproximadamente 1.03 cm2/V s, que es 10 veces mayor que en el caso T < B (0.13 cm/V s). Se presume que la razón es que los defectos orgánicos residuales se eliminan de manera efectiva a medida que T aumenta. Además, cuando Ts está más allá de Bp, la movilidad disminuye debido a defectos estructurales como poros y agujeros de alfiler. Basándonos en nuestros resultados, se destaca que T juega un papel significativo en la mejora del rendimiento eléctrico y la estabilidad de los transistores ZTO de película delgada procesados por solución.

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