Importancia de la temperatura de evaporación del disolvente en la etapa de pre-annealing para transistores de película delgada de óxido de zinc y estaño procesados por solución
Autores: Jeon, Sang-Hwa; Wang, Ziyuan; Seo, Kyeong-Ho; Feng, Junhao; Zhang, Xue; Park, Jaehoon; Bae, Jin-Hyuk
Idioma: Inglés
Editor: MDPI
Año: 2022
Acceso abierto
Artículo científico
2022
Importancia de la temperatura de evaporación del disolvente en la etapa de pre-annealing para transistores de película delgada de óxido de zinc y estaño procesados por solución
Categoría
Ingeniería y Tecnología
Subcategoría
Ingeniería Eléctrica y Electrónica
Palabras clave
Temperatura
Evaporación del solvente
Etapa de pre-annealing
óxido de zinc estaño
Transistores de película delgada
Movilidad del efecto de campo
Licencia
CC BY-SA – Atribución – Compartir Igual
Consultas: 24
Citaciones: Sin citaciones
Nos enfocamos en la importancia de la evaporación del disolvente regida por la temperatura de la etapa de pre-annealing (T) en transistores de película delgada de óxido de zinc y estaño (ZTO) procesados por solución. Controlamos T basándonos en el punto de ebullición (B) del disolvente utilizado. Cuando T alcanza el B, se encuentra que la movilidad de efecto de campo es de aproximadamente 1.03 cm2/V s, que es 10 veces mayor que en el caso T < B (0.13 cm/V s). Se presume que la razón es que los defectos orgánicos residuales se eliminan de manera efectiva a medida que T aumenta. Además, cuando Ts está más allá de Bp, la movilidad disminuye debido a defectos estructurales como poros y agujeros de alfiler. Basándonos en nuestros resultados, se destaca que T juega un papel significativo en la mejora del rendimiento eléctrico y la estabilidad de los transistores ZTO de película delgada procesados por solución.
Descripción
Nos enfocamos en la importancia de la evaporación del disolvente regida por la temperatura de la etapa de pre-annealing (T) en transistores de película delgada de óxido de zinc y estaño (ZTO) procesados por solución. Controlamos T basándonos en el punto de ebullición (B) del disolvente utilizado. Cuando T alcanza el B, se encuentra que la movilidad de efecto de campo es de aproximadamente 1.03 cm2/V s, que es 10 veces mayor que en el caso T < B (0.13 cm/V s). Se presume que la razón es que los defectos orgánicos residuales se eliminan de manera efectiva a medida que T aumenta. Además, cuando Ts está más allá de Bp, la movilidad disminuye debido a defectos estructurales como poros y agujeros de alfiler. Basándonos en nuestros resultados, se destaca que T juega un papel significativo en la mejora del rendimiento eléctrico y la estabilidad de los transistores ZTO de película delgada procesados por solución.