Investigamos la caracterización en el dominio del tiempo de una guía de onda coplanar (CPW) basada en un sistema de muestreo electro-óptico (EOS) en chip para metrología de formas de onda milimétricas. La CPW se fabrica en una fina capa de arseniuro de galio de baja temperatura (LT-GaAs), y el material del sustrato es GaAs. Un láser de femtosegundos genera y detecta pulsos ultracortos en la CPW. Los pulsos que se propagan hacia adelante se simulan utilizando una fuente de corriente simplificada para el láser de femtosegundos en diferentes posiciones en la CPW por primera vez. Luego, se discuten las influencias de los parámetros de geometría de la CPW en los pulsos medidos. La variación del ancho de la ranura tiene mayores influencias en la amplitud de los pulsos de onda milimétrica que el ancho del conductor central y la separación de bombeo. Finalmente, en el rango de frecuencia de 10 GHz a 500 GHz, las funciones de transferencia calculadas por los pulsos en el dominio del tiempo están en buena concordancia con las funciones de transferencia calculadas por los puertos en el dominio de la frecuencia. Los resultados anteriores son importantes para mejorar la precisión de la medición de la forma de onda milimétrica en la CPW para la metrología de formas de onda milimétricas.