La temperatura del chuck electrostático (ESC), un susceptor de obleas utilizado en equipos de grabado de semiconductores, debe controlarse con precisión durante el proceso de grabado para obtener resultados de proceso uniformes y consistentes. La falta de control de la temperatura precisa puede provocar el rechazo del sitio de fabricación de semiconductores de alto volumen (uno de los componentes de equipos más costosos que se pueden reparar para su uso prolongado). En esta investigación, proponemos un sistema de monitoreo de temperatura en obleas tipo inalámbrico (OTMS) para un monitoreo de temperatura más fácil y rápido que ayude a las mediciones de temperatura del ESC reparado en condiciones atmosféricas y de vacío. El método propuesto, que puede medir eficazmente la distribución de temperatura del ESC, debería gestionar la condición operativa del ESC. Una demostración exitosa del OTMS de tamaño 300 mm para las piezas reparadas mejoró la garantía de calidad con una desviación de temperatura de +/-3.83 grados Celsius sobre 65 puntos de medición.