La tecnología de doble accionamiento macro-micro utiliza un sistema de micro-accionamiento para compensar los errores de movimiento de un sistema de macro-accionamiento, resolviendo la contradicción entre un gran recorrido y un movimiento de alta precisión. Además, tiene un amplio rango de aplicaciones en el campo de la ultra-precisión. Por lo tanto, es necesario analizar e investigar el sistema de doble accionamiento macro-micro de ultra-precisión. En primer lugar, este documento analiza la historia del desarrollo de la tecnología de ultra-precisión y resume el estado de la investigación en el procesamiento y aplicación de la tecnología de ultra-precisión. En segundo lugar, se revisa el diseño del mecanismo de micro-accionamiento y el modo de accionamiento macro-micro de la tecnología de doble accionamiento macro-micro, que puede resolver la contradicción entre un gran recorrido y alta precisión, y se resume la aplicación de la tecnología de doble accionamiento macro-micro en un sistema de ultra-precisión. Finalmente, se analizan los desafíos y las tendencias de desarrollo del sistema de doble accionamiento macro-micro de ultra-precisión. La investigación en este documento jugará un papel importante en la promoción del desarrollo del sistema de ultra-precisión y la tecnología de doble accionamiento macro-micro.