Modelado y caracterización eléctrica de un resonador de un puerto de bilayer Pt/AlN/Sapphire para aplicaciones de sensores
Autores: Jean Claude, Asseko Ondo; Eloi Jean Jacques, Blampain; Gaston, N"tchayi Mbourou; Adoum, Traore Ndama; Elysée, Obame Ndong; Omar, Elmazria
Idioma: Inglés
Editor: MDPI
Año: 2021
Acceso abierto
Artículo científico
2021
Modelado y caracterización eléctrica de un resonador de un puerto de bilayer Pt/AlN/Sapphire para aplicaciones de sensores
Categoría
Ingeniería y Tecnología
Subcategoría
Ingeniería Eléctrica y Electrónica
Palabras clave
Método de elementos finitos
Resonador de onda acústica de superficie
Película piezoeléctrica
Sensor de alta temperatura
Sustrato de zafiro
Análisis modal
Licencia
CC BY-SA – Atribución – Compartir Igual
Consultas: 43
Citaciones: Sin citaciones
Este trabajo presenta un modelado y simulación FEM (Método de Elementos Finitos) bidimensional de un resonador de onda acústica de superficie (SAW) basado en una estructura estratificada de Pt/AlN/Zafiro. Dicha estructura que explota el acoplamiento electromecánico de la película piezoeléctrica es de gran interés para entornos adversos.
Descripción
Este trabajo presenta un modelado y simulación FEM (Método de Elementos Finitos) bidimensional de un resonador de onda acústica de superficie (SAW) basado en una estructura estratificada de Pt/AlN/Zafiro. Dicha estructura que explota el acoplamiento electromecánico de la película piezoeléctrica es de gran interés para entornos adversos.