El monitoreo de CO es importante para lograr emisiones netas cero. Aquí informamos sobre un sensor de gas de CO basado en un transistor de película delgada de InO (óxido de indio), que se espera que logre tanto operación a baja temperatura como alta sensibilidad. El efecto del grosor del canal en el rendimiento del TFT es bien conocido; sin embargo, su efecto en la sensibilidad al CO no ha sido completamente investigado. Fabricamos TFTs de InO de varios grosores para evaluar el efecto del grosor del canal en la sensibilidad al CO. En consecuencia, los sensores de gas TFT con canales más delgados mostraron una mayor sensibilidad al CO. Esto se debe a que el efecto de superficie es más prominente para una película más delgada, lo que sugiere que la transferencia de carga entre las moléculas de gas y la superficie del canal a través de la adsorción de gas tiene un impacto significativo en los cambios en los parámetros del TFT en la región de subumbral. Los resultados mostraron que el TFT de InO en canales delgados es un candidato prometedor para sensores de gas TFT sensibles al CO y es útil para comprender un efecto de la adsorción de gas en los TFT de óxido con un canal muy delgado también.