En la fabricación de semiconductores, se adoptan módulos de proceso de múltiples espacios (PMs) en algunas herramientas de agrupación para el procesamiento de obleas. Con PMs de múltiples espacios, un PM puede tener múltiples obleas al mismo tiempo. Además, la cámara interna en un PM debe rotar para que el robot pueda cargar/descargar una oblea en/desde un espacio en el PM. Esto significa que el tiempo de permanencia de la oblea en los PMs se ve afectado tanto por las operaciones de rotación de las cámaras internas de los PMs como por las tareas del robot. Por lo tanto, minimizar el tiempo de demora de la oblea es bastante desafiante. En este trabajo, para herramientas de agrupación con robots de un solo brazo y PMs de dos espacios, se realizan esfuerzos para minimizar la demora de la oblea en la programación de las herramientas. Específicamente, se presenta una estrategia de retroceso de dos obleas para operar las herramientas en un estado estable. Luego, se analizan las cargas de trabajo de cada paso de procesamiento y del robot. Además, para encontrar horarios óptimos con el objetivo de minimizar el tiempo total de demora de la oblea, se establecen algoritmos eficientes. Finalmente, los estudios de caso muestran que el tiempo de demora de la oblea en algunos pasos puede ser eliminado por completo mediante el método propuesto. Al mismo tiempo, en todos los casos, el método propuesto puede funcionar bien para reducir el tiempo total de demora de la oblea en todos los pasos.