Recuperación del perfil de membrana de un MEMS circular electrostático mediante un procedimiento de Lobatto de tres etapas: un análisis de convergencia en ausencia de soluciones fantasma
Autores: Versaci, Mario; Angiulli, Giovanni; Jannelli, Alessandra
Idioma: Inglés
Editor: MDPI
Año: 2020
Acceso abierto
Artículo científico
2020
Recuperación del perfil de membrana de un MEMS circular electrostático mediante un procedimiento de Lobatto de tres etapas: un análisis de convergencia en ausencia de soluciones fantasma
Categoría
Matemáticas
Subcategoría
Matemáticas generales
Palabras clave
Enfoque
Numérico
Perfil de membrana
MEMS
Procedimiento de colocación
Convergencia
Licencia
CC BY-SA – Atribución – Compartir Igual
Consultas: 36
Citaciones: Sin citaciones
En este documento, se presenta un enfoque numérico estable para recuperar el perfil de membrana de un sistema microelectromecánico (MEMS) 2D. Partiendo de un modelo diferencial de segundo orden no lineal 2D bien conocido para MEMS de membrana circular electrostática, donde se considera que la amplitud del campo electrostático es proporcional a la curvatura media de la membrana, se deriva un procedimiento de colocación basado en la fórmula de tres etapas de Lobatto. Se estudia la convergencia, obteniendo así los rangos operativos de los parámetros que determinan las áreas de aplicabilidad del dispositivo bajo análisis.
Descripción
En este documento, se presenta un enfoque numérico estable para recuperar el perfil de membrana de un sistema microelectromecánico (MEMS) 2D. Partiendo de un modelo diferencial de segundo orden no lineal 2D bien conocido para MEMS de membrana circular electrostática, donde se considera que la amplitud del campo electrostático es proporcional a la curvatura media de la membrana, se deriva un procedimiento de colocación basado en la fórmula de tres etapas de Lobatto. Se estudia la convergencia, obteniendo así los rangos operativos de los parámetros que determinan las áreas de aplicabilidad del dispositivo bajo análisis.