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Recuperación del perfil de membrana de un MEMS circular electrostático mediante un procedimiento de Lobatto de tres etapas: un análisis de convergencia en ausencia de soluciones fantasma

Autores: Versaci, Mario; Angiulli, Giovanni; Jannelli, Alessandra

Idioma: Inglés

Editor: MDPI

Año: 2020

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Acceso abierto

Artículo científico
2020

Recuperación del perfil de membrana de un MEMS circular electrostático mediante un procedimiento de Lobatto de tres etapas: un análisis de convergencia en ausencia de soluciones fantasma


Categoría

Matemáticas

Subcategoría

Matemáticas generales

Palabras clave

Enfoque
Numérico
Perfil de membrana
MEMS
Procedimiento de colocación
Convergencia

Licencia

CC BY-SA – Atribución – Compartir Igual

Consultas: 36

Citaciones: Sin citaciones


Descripción
En este documento, se presenta un enfoque numérico estable para recuperar el perfil de membrana de un sistema microelectromecánico (MEMS) 2D. Partiendo de un modelo diferencial de segundo orden no lineal 2D bien conocido para MEMS de membrana circular electrostática, donde se considera que la amplitud del campo electrostático es proporcional a la curvatura media de la membrana, se deriva un procedimiento de colocación basado en la fórmula de tres etapas de Lobatto. Se estudia la convergencia, obteniendo así los rangos operativos de los parámetros que determinan las áreas de aplicabilidad del dispositivo bajo análisis.

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