En la actualidad, cada vez más MMICs (Circuitos Integrados Monolíticos de Microondas), como limitadores y interruptores, están diseñados con estructuras de almohadillas de prueba equilibradas y desequilibradas para resolver las restrictivas restricciones de tamaño y los requisitos de integración para los MMICs. Las sondas híbridas equilibradas y desequilibradas de RF (Radio Frecuencia) se adoptan para una prueba en oblea de las estructuras heteromórficas. El estándar de paso basado en estructuras equilibradas o desequilibradas simples no puede cumplir con los requisitos de emparejamiento de impedancias de las sondas híbridas de RF al mismo tiempo, lo que conlleva una disminución drástica de la precisión de calibración y no puede satisfacer el requisito de prueba de MMIC. Por lo tanto, en este artículo, se realiza la estimación del error de calibración de sondas híbridas de RF basadas en el método de calibración tradicional SOLR (Corto Abierto Carga Recíproca), y se propone un enfoque de prueba en oblea de MMIC basado en sondas de RF híbridas equilibradas y desequilibradas que combina la técnica de desmontaje de segundo orden OSL (Abierto Corto Carga) con corrección de errores vectoriales y la técnica de transformación de matriz. El plano de referencia de calibración se puede desplazar con precisión a la punta de la sonda con este método, lo que mejora significativamente la precisión de la prueba, y se construye un sistema de prueba automático para este método basado en el lenguaje C# orientado a objetos.