En el presente trabajo se prepararon películas delgadas de a-SiC:H utilizando la técnica de sputtering por magnetrón para diferentes temperaturas de sustrato desde 100 grados C hasta 290 grados C. Sus propiedades ópticas se estudiaron utilizando la técnica de elipsometría. Los resultados experimentales muestran que la banda óptica de los filmes varía de 2.00 eV a 2.18 eV para las películas hidrogenadas, mientras que el Eg es igual a 1.29 eV cuando la película no contiene átomos de hidrógeno y para Ts = 100 grados C. Se ha observado que el índice de refracción se mantiene estable en la región de 100 grados C a 220 grados C, mientras que cae significativamente cuando se alcanza la temperatura de 290 grados C. Además, el índice de refracción exhibe una relación inversa con Eg como función de Ts. Notablemente, estas películas delgadas se depositaron hace 12 años y sus propiedades ópticas han permanecido estables desde entonces.