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Nuevo proceso de alineación de obleas utilizando múltiples métodos de visión para la fabricación industrial

Autores: KIM, Jongwon

Idioma: Inglés

Editor: MDPI

Año: 2018

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Acceso abierto

Artículo científico
2018

Nuevo proceso de alineación de obleas utilizando múltiples métodos de visión para la fabricación industrial


Categoría

Ingeniería y Tecnología

Subcategoría

Ingeniería Eléctrica y Electrónica

Palabras clave

Semiconductor
Fabricación
Alineadores de obleas
Método de visión
Producción en masa
Alineación

Licencia

CC BY-SA – Atribución – Compartir Igual

Consultas: 33

Citaciones: Sin citaciones


Descripción
En la fabricación de semiconductores, los alineadores de obleas han sido ampliamente utilizados, como el método de alineación convencional que utiliza un sensor de transmisión de Dispositivo de Carga Acoplada (CCD) para detectar la muesca o plano en una oblea. Este artículo presenta un alineador de visión propuesto que utiliza un método de visión que puede ser instalado en la máquina de unión de obleas y placas para producción en masa. El sistema de visión, que utiliza tres cámaras para realizar la alineación de posición y rotación de la oblea, detecta el lado de la cara de la oblea y la cinta ultravioleta (UV) en la oblea y placa objetivo. Puede ser utilizado para el proceso de alineación de obleas y unión de placas de cerámica. Utilizando el método de visión, el alineador podría reducir los pasos del proceso y el tiempo requerido para la unión de obleas, así como los problemas inesperados causados por los trabajadores durante la fabricación. El sistema fue aplicado en el campo de producción en masa para verificar su rendimiento.

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