Nuevo proceso de alineación de obleas utilizando múltiples métodos de visión para la fabricación industrial
Autores: KIM, Jongwon
Idioma: Inglés
Editor: MDPI
Año: 2018
Acceso abierto
Artículo científico
2018
Nuevo proceso de alineación de obleas utilizando múltiples métodos de visión para la fabricación industrial
Categoría
Ingeniería y Tecnología
Subcategoría
Ingeniería Eléctrica y Electrónica
Palabras clave
Semiconductor
Fabricación
Alineadores de obleas
Método de visión
Producción en masa
Alineación
Licencia
CC BY-SA – Atribución – Compartir Igual
Consultas: 33
Citaciones: Sin citaciones
En la fabricación de semiconductores, los alineadores de obleas han sido ampliamente utilizados, como el método de alineación convencional que utiliza un sensor de transmisión de Dispositivo de Carga Acoplada (CCD) para detectar la muesca o plano en una oblea. Este artículo presenta un alineador de visión propuesto que utiliza un método de visión que puede ser instalado en la máquina de unión de obleas y placas para producción en masa. El sistema de visión, que utiliza tres cámaras para realizar la alineación de posición y rotación de la oblea, detecta el lado de la cara de la oblea y la cinta ultravioleta (UV) en la oblea y placa objetivo. Puede ser utilizado para el proceso de alineación de obleas y unión de placas de cerámica. Utilizando el método de visión, el alineador podría reducir los pasos del proceso y el tiempo requerido para la unión de obleas, así como los problemas inesperados causados por los trabajadores durante la fabricación. El sistema fue aplicado en el campo de producción en masa para verificar su rendimiento.
Descripción
En la fabricación de semiconductores, los alineadores de obleas han sido ampliamente utilizados, como el método de alineación convencional que utiliza un sensor de transmisión de Dispositivo de Carga Acoplada (CCD) para detectar la muesca o plano en una oblea. Este artículo presenta un alineador de visión propuesto que utiliza un método de visión que puede ser instalado en la máquina de unión de obleas y placas para producción en masa. El sistema de visión, que utiliza tres cámaras para realizar la alineación de posición y rotación de la oblea, detecta el lado de la cara de la oblea y la cinta ultravioleta (UV) en la oblea y placa objetivo. Puede ser utilizado para el proceso de alineación de obleas y unión de placas de cerámica. Utilizando el método de visión, el alineador podría reducir los pasos del proceso y el tiempo requerido para la unión de obleas, así como los problemas inesperados causados por los trabajadores durante la fabricación. El sistema fue aplicado en el campo de producción en masa para verificar su rendimiento.