Las herramientas de cluster son el equipamiento clave en los sistemas de fabricación de semiconductores. Han sido ampliamente adoptadas para muchos procesos de fabricación de obleas, como los procesos de deposición química y física de vapor. Los flujos de obleas reentrantes son comúnmente vistos en las operaciones de herramientas de cluster para procesos de deposición. Es muy complicado programar herramientas de cluster con procesos reentrantes. Para una herramienta de cluster de doble brazo con reentrada doble, los estudios existentes señalan que se puede encontrar un horario (1-WP) y es óptimo en términos de productividad. Sin embargo, para algunos procesos de fabricación de obleas, las obleas deben procesarse en algunos PMs más de dos veces. Esto plantea la pregunta de si todavía existe un horario 1-WP para herramientas de cluster de doble brazo con un número de veces de reentrada mayor a dos, de modo que el tiempo de ciclo de una herramienta pueda alcanzar el límite inferior. Este problema sigue abierto, y es lo que este trabajo quiere abordar. Para una herramienta de cluster de doble brazo con un número de veces de reentrada mayor a dos, si no existe un valor {1, 2} tal que = 3, se presentan pruebas teóricas para mostrar que se puede encontrar un horario 1-WP, de lo contrario no existe. Para casos con un horario 1-WP, el tiempo de ciclo se puede obtener mediante expresiones analíticas. Para los casos sin un horario 1-WP, se proponen dos nuevos métodos para un horario periódico de tres obleas para mejorar la productividad del sistema comparándolo con un horario periódico de tres obleas existente. Las aplicaciones de los resultados obtenidos se demuestran con ejemplos. Se requieren restricciones de tiempo de residencia de obleas para algunos procesos de fabricación de obleas. Cabe destacar que los resultados obtenidos en este trabajo no se pueden aplicar directamente a herramientas de cluster con flujos de obleas reentrantes y restricciones de tiempo de residencia de obleas. No obstante, la planificación y el análisis de programación para esas aplicaciones se pueden realizar en base a los resultados obtenidos en este trabajo.