Las películas de máscara dura de carbono amorfo (ACHM) son ampliamente utilizadas como máscaras duras de grabado en la memoria flash 3D-NAND, lo que ha planteado mayores requisitos en la velocidad de deposición de la película, transparencia de la película, uniformidad y grabado selectivo. En este trabajo, el procesamiento de la película ACHM se ha desarrollado y optimizado mediante el estudio comparativo de acetileno (CH) y propileno (CH) como fuentes de carbono a diferentes temperaturas de 300 grados Celsius, 350 grados Celsius y 400 grados Celsius.