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Simulación y optimización de la unidad de transductor ultrasónico micromecanizado piezoeléctrico basada en AlN

Autores: Su, Xin; Ren, Xincheng; Wan, Haoji; Jiang, Xingfang; Liu, Xianyun

Idioma: Inglés

Editor: MDPI

Año: 2022

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Acceso abierto

Artículo científico
2022

Simulación y optimización de la unidad de transductor ultrasónico micromecanizado piezoeléctrico basada en AlN


Categoría

Ingeniería y Tecnología

Subcategoría

Ingeniería Eléctrica y Electrónica

Palabras clave

Nitruro de aluminio
Película piezoeléctrica
Rendimiento del campo acústico
Modelo de unidad de transductor
Distribución de electrodo superior
Radiación de campo acústico

Licencia

CC BY-SA – Atribución – Compartir Igual

Consultas: 43

Citaciones: Sin citaciones


Descripción
La constante piezoeléctrica relativamente baja de la película piezoeléctrica de nitruro de aluminio (AlN) limita el desarrollo y la aplicación del rendimiento del campo acústico de los transductores ultrasónicos micromecanizados basados en AlN; por lo tanto, en este estudio establecemos un modelo de unidad de transductor de frecuencia media a baja para abordar este problema.

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