Simulación y optimización de la unidad de transductor ultrasónico micromecanizado piezoeléctrico basada en AlN
Autores: Su, Xin; Ren, Xincheng; Wan, Haoji; Jiang, Xingfang; Liu, Xianyun
Idioma: Inglés
Editor: MDPI
Año: 2022
Acceso abierto
Artículo científico
2022
Simulación y optimización de la unidad de transductor ultrasónico micromecanizado piezoeléctrico basada en AlN
Categoría
Ingeniería y Tecnología
Subcategoría
Ingeniería Eléctrica y Electrónica
Palabras clave
Nitruro de aluminio
Película piezoeléctrica
Rendimiento del campo acústico
Modelo de unidad de transductor
Distribución de electrodo superior
Radiación de campo acústico
Licencia
CC BY-SA – Atribución – Compartir Igual
Consultas: 43
Citaciones: Sin citaciones
La constante piezoeléctrica relativamente baja de la película piezoeléctrica de nitruro de aluminio (AlN) limita el desarrollo y la aplicación del rendimiento del campo acústico de los transductores ultrasónicos micromecanizados basados en AlN; por lo tanto, en este estudio establecemos un modelo de unidad de transductor de frecuencia media a baja para abordar este problema.
Descripción
La constante piezoeléctrica relativamente baja de la película piezoeléctrica de nitruro de aluminio (AlN) limita el desarrollo y la aplicación del rendimiento del campo acústico de los transductores ultrasónicos micromecanizados basados en AlN; por lo tanto, en este estudio establecemos un modelo de unidad de transductor de frecuencia media a baja para abordar este problema.