La tarea significativa para la evaluación del rendimiento del control (CPA) es revisar y evaluar el desempeño del sistema de control. El sistema de control en la industria de semiconductores exhibe un comportamiento dinámico complejo, que es difícil de analizar. Este documento investiga las interesantes propiedades de cruce de las estimaciones del exponente de Hurst y propone un método novedoso para la extracción de características de los sistemas no lineales de múltiples entradas y múltiples salidas (MIMO). Al principio, los datos acoplados de la industria real se analizan mediante el análisis de fluctuación de tendencia multifractal (MFDFA) y se obtiene el espectro multifractal resultante. En segundo lugar, se localizan los puntos de cruce con ajuste de spline en la curva de ley de escala y luego se emplean para segmentar toda la curva de ley de escala en varias regiones de escala diferentes, en las cuales se puede estimar un único exponente de Hurst. En tercer lugar, para determinar aún más el origen de la multifractalidad de las señales de control, se comparan los exponentes de Hurst generalizados de la serie original con datos reorganizados. Por último, se derivan y comparan las propiedades estadísticas no gaussianas, las propiedades multifractales y los exponentes de Hurst de las variables de control de proceso con diferentes conjuntos de parámetros de ajuste. Los resultados han demostrado que el CPA del sistema MIMO puede ser mejor empleado con la ayuda del procesamiento de señales de orden fraccionario (FOSP).