En la industria moderna de semiconductores, los productos defectuosos ocurren con variables pequeñas inesperadas debido a la miniaturización del proceso. Gestionar la condición de cada parte es una forma efectiva de prevenir errores inesperados. El entorno de Internet Industrial de las Cosas (IIoT), que puede monitorear y analizar la degradación del rendimiento de las partes que afectan los resultados del proceso, permite la gestión avanzada del rendimiento del proceso. Este documento presenta los resultados de la construcción del sistema de monitoreo y diagnóstico de datos basado en el concepto de IIoT. Se explica el proceso de adquisición de datos de vibración de bombas para evaluar la efectividad de este sistema. El proceso objetivo es la deposición. El propósito del sistema es detectar la degradación de las bombas debido a los subproductos del proceso de deposición de capa atómica (ALD). El sistema consta de tres áreas: una unidad de adquisición de datos que utiliza seis sensores de vibración, una unidad de monitoreo basada en acceso web que puede monitorear los datos de vibración y una plataforma Azure que busca valores atípicos en los datos de vibración.