logo móvil
Contáctanos

Desarrollando un módulo basado en interferogramas con aprendizaje automático para mantener el nivelado de sustratos de vidrio

Autores: Chang, Syuan-Cheng; Chang, Chung-Ping; Wang, Yung-Cheng; Chu, Chi-Chieh

Idioma: Inglés

Editor: MDPI

Año: 2023

Descargar PDF

Acceso abierto

Artículo científico
2023

Desarrollando un módulo basado en interferogramas con aprendizaje automático para mantener el nivelado de sustratos de vidrio


Categoría

Tecnología de Equipos y Accesorios

Subcategoría

Diseño de equipos y herramientas

Palabras clave

Investigación
Aprendizaje automático
Interferómetro Fabry-Perot
Principio óptico
Aprendizaje supervisado
Clasificación

Licencia

CC BY-SA – Atribución – Compartir Igual

Consultas: 17

Citaciones: Sin citaciones


Descripción
En esta investigación, proponemos un método que utiliza el aprendizaje automático para mantener el paralelismo de la cavidad resonante en un interferómetro Fabry-Perot diseñado específicamente para sustratos de vidrio. Basándonos en el principio y la teoría óptica, establecemos una relación proporcional entre los franjas de interferencia y el ángulo de inclinación de los espejos. Esto permite una determinación precisa del ángulo de inclinación utilizando aprendizaje supervisado, específicamente clasificación. Al entrenar un modelo de aprendizaje automático con datos etiquetados, los patrones de franjas de interferencia se categorizan en tres niveles, con aproximadamente 100 datos de entrenamiento disponibles para cada nivel en cada ubicación. Los resultados experimentales de la clasificación de Nivel 2 y Nivel 3 indican un número promedio de correcciones de 2.55 y 3.55 veces, respectivamente, para alcanzar la posición objetivo con un error de corrección de menos de 30 segundos de arco. Estos hallazgos demuestran la naturaleza esencial de esta tecnología de mantenimiento de paralelismo para la industria de semiconductores y la ingeniería mecánica de precisión.

Otros recursos que podrían interesarte

Temas Virtualpro