Desde la última década, la herramienta de cluster se ha vuelto común en las fábricas modernas de fabricación de semiconductores. En general, la herramienta de cluster ocupa el 60% al 70% de las máquinas de producción para fábricas de tecnología avanzada. La característica más destacada de este tipo de equipo es integrar los procesos relevantes en una sola máquina para reducir el tiempo de transporte de las obleas y prevenir la contaminación de las mismas. Sin embargo, las herramientas de cluster también aumentan significativamente la dificultad de la planificación de la producción, especialmente para el control de la planta debido a las complicadas configuraciones de las máquinas.