Esta investigación intenta estudiar un posible controlador para mejorar la estabilidad dinámica de microestructuras capacitivas mediante la mitigación de los efectos de perturbaciones e incertidumbres en su comportamiento dinámico resultante. En consecuencia, se sugiere una estrategia de control de modo deslizante terminal no singular en este sentido. Las principales características de esta estrategia de control particular son su alta velocidad de respuesta y su no dependencia de fuerzas de control potentes. La estabilidad del controlador se investigó utilizando la teoría de Lyapunov. Para este propósito, se introdujo una función de Lyapunov adecuada para probar la estabilidad de un controlador, y se presentan las condiciones de singularidad y métodos para superar estas condiciones. Los resultados obtenidos demostraron la alta capacidad de la técnica aplicada para estabilizar la microestructura, así como para mitigar los efectos de perturbaciones e incertidumbres.