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Síntesis de mejora de Die Fly y Die Shift en relación con el proceso de moldeo de obleas para filtros SAW ultrafinos FOWLP

Autores: Li, Wei; Yu, Daquan

Idioma: Inglés

Editor: MDPI

Año: 2023

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Acceso abierto

Artículo científico
2023

Síntesis de mejora de Die Fly y Die Shift en relación con el proceso de moldeo de obleas para filtros SAW ultrafinos FOWLP


Categoría

Ingeniería y Tecnología

Subcategoría

Ingeniería Eléctrica y Electrónica

Palabras clave

Onda acústica de superficie
Morir volar
Morir cambio
Compuesto de moldeo de epoxi
CTE
Litografía

Licencia

CC BY-SA – Atribución – Compartir Igual

Consultas: 53

Citaciones: Sin citaciones


Descripción
A medida que los filtros de ondas acústicas de superficie (SAW) tienden a ser cada vez más finos, las fallas resultantes del proceso de moldeo de obleas han ido cobrando cada vez más relevancia. Se ha desarrollado una metodología para acoplar los mecanismos de vuelo de obleas y desplazamiento de obleas para el filtro SAW miniaturizado con 737 x 517 x 200, con el fin de lograr un equilibrio entre confiabilidad y rendimiento. En cuanto al vuelo de obleas y desplazamiento de obleas, el primero ocurre antes de que el compuesto de moldeo de epoxi (EMC) se cure en el período de aumento de temperatura, mientras que el segundo ocurre en la etapa de enfriamiento después de haberse curado. El vuelo de obleas es inducido por la fuerza del flujo de fluidos en la etapa de compresión de calor a alta temperatura, lo cual es fatal para los desechos. Seguido por la etapa de enfriamiento, el desalineamiento del CTE (coeficiente de expansión térmica) entre la oblea y el compuesto de moldeo de epoxi (EMC) afecta seriamente el desplazamiento de obleas y el rendimiento del proceso de litografía siguiente. La energía crítica de desprendimiento en el modo mixto se emplea para evitar el vuelo de obleas. Luego, el vuelo de obleas puede evitarse ajustando finamente el grosor de la oblea, el diseño de la oblea y el diseño de EMC. Se llevó a cabo una metodología para medir el desplazamiento de obleas, mediante la cual un total de 47,568 obleas fueron incrustadas utilizando moldeo por compresión. Se aprovechan de manera integral el error mecánico del montador y la ley de desplazamiento de obleas, lo que indica que el desplazamiento de obleas puede controlarse dentro de 50 para el empaquetado a nivel de obleas de 8 pulgadas.

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