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Mejora del rendimiento de transistores de película delgada de ZnSnO con reacción de auto-combustión a baja temperatura

Autores: Han, Ye-Ji; Lee, Se Hyeong; Bak, So-Young; Han, Tae-Hee; Kim, Sangwoo; Yi, Moonsuk

Idioma: Inglés

Editor: MDPI

Año: 2021

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Acceso abierto

Artículo científico
2021

Mejora del rendimiento de transistores de película delgada de ZnSnO con reacción de auto-combustión a baja temperatura


Categoría

Ingeniería y Tecnología

Subcategoría

Ingeniería Eléctrica y Electrónica

Palabras clave

Convencional
Sol-gel
óxido de zinc y estaño
TFTs
Bajas temperaturas de recocido
Rendimiento

Licencia

CC BY-SA – Atribución – Compartir Igual

Consultas: 36

Citaciones: Sin citaciones


Descripción
Las soluciones sol-gel convencionales han recibido una atención significativa en la fabricación de transistores de película delgada (TFT) debido a sus ventajas como procesamiento simple, aplicabilidad a gran escala y bajo costo. Sin embargo, los TFT de óxido de zinc y estaño (ZTO) procesados de manera convencional mediante sol-gel tienen una limitación térmica en el sentido de que requieren altas temperaturas de recocido de más de 500 gradosC, que son incompatibles con la mayoría de los sustratos plásticos flexibles. En este estudio, para superar la limitación térmica de los TFT de ZTO procesados de manera convencional mediante sol-gel, demostramos un TFT de ZTO que se fabricó a bajas temperaturas de recocido de 350 gradosC utilizando auto-combustión. El dispositivo optimizado mostró un rendimiento satisfactorio, con una movilidad de 4.72 cm/Vs, V de -1.28 V, SS de 0.86 V/década, y I/ de 1.70 x 10 a una baja temperatura de recocido de 350 gradosC durante una hora. Para comparar un TFT de ZTO procesado de manera convencional mediante sol-gel con el dispositivo optimizado, se implementaron análisis termogravimétricos y térmicos diferenciales (TG-DTA) y espectroscopía fotoelectrónica de rayos X (XPS).

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