Mejora en la detección de puntos finales de grabado por plasma utilizando aprendizaje automático de memoria a largo plazo de atención basado en LSTM
Autores: Kim, Ye Jin; Song, Jung Ho; Cho, Ki Hwan; Shin, Jong Hyeon; Kim, Jong Sik; Yoon, Jung Sik; Hong, Sang Jeen
Idioma: Inglés
Editor: MDPI
Año: 2024
Acceso abierto
Artículo científico
2024
Mejora en la detección de puntos finales de grabado por plasma utilizando aprendizaje automático de memoria a largo plazo de atención basado en LSTM
Categoría
Ingeniería y Tecnología
Subcategoría
Ingeniería Eléctrica y Electrónica
Palabras clave
Detección de punto final de grabado existente
Lstm
Datos de series temporales
Espectroscopía de emisión óptica
Modelo basado en atención
Licencia
CC BY-SA – Atribución – Compartir Igual
Consultas: 31
Citaciones: Sin citaciones
Los métodos existentes de detección de punto final de grabado (EPD), basados principalmente en longitudes de onda únicas, tienen limitaciones, como relaciones señal-ruido bajas y la incapacidad de considerar las dependencias a largo plazo de los datos de series temporales.
Descripción
Los métodos existentes de detección de punto final de grabado (EPD), basados principalmente en longitudes de onda únicas, tienen limitaciones, como relaciones señal-ruido bajas y la incapacidad de considerar las dependencias a largo plazo de los datos de series temporales.