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Mediciones de resistencia de láminas de películas delgadas conductoras: una comparación de técnicas

Autores: Naftaly, Mira; Das, Satyajit; Gallop, John; Pan, Kewen; Alkhalil, Feras; Kariyapperuma, Darshana; Constant, Sophie; Ramsdale, Catherine; Hao, Ling

Idioma: Inglés

Editor: MDPI

Año: 2021

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Acceso abierto

Artículo científico
2021

Mediciones de resistencia de láminas de películas delgadas conductoras: una comparación de técnicas


Categoría

Ingeniería y Tecnología

Subcategoría

Ingeniería Eléctrica y Electrónica

Palabras clave

Películas delgadas conductoras
Dispositivos electrónicos
Mediciones de conductividad
Control de calidad
Monitoreo de procesos
Electrónica flexible

Licencia

CC BY-SA – Atribución – Compartir Igual

Consultas: 37

Citaciones: Sin citaciones


Descripción
Las películas delgadas conductoras son un componente esencial de muchos dispositivos electrónicos. Medir su conductividad de manera precisa es necesario para el control de calidad y monitoreo del proceso. Comparamos las mediciones de conductividad en películas para electrónica flexible utilizando tres técnicas diferentes: sonda de cuatro puntas, resonador de microondas y espectroscopía de dominio temporal de terahercios. Se examinaron múltiples muestras, facilitando la comparación de las tres técnicas. Se obtuvieron valores de resistencia de lámina en frecuencias de corriente continua, microondas y terahercios y se encontró que estaban en estrecho acuerdo.

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