Mediciones de resistencia de láminas de películas delgadas conductoras: una comparación de técnicas
Autores: Naftaly, Mira; Das, Satyajit; Gallop, John; Pan, Kewen; Alkhalil, Feras; Kariyapperuma, Darshana; Constant, Sophie; Ramsdale, Catherine; Hao, Ling
Idioma: Inglés
Editor: MDPI
Año: 2021
Acceso abierto
Artículo científico
2021
Mediciones de resistencia de láminas de películas delgadas conductoras: una comparación de técnicas
Categoría
Ingeniería y Tecnología
Subcategoría
Ingeniería Eléctrica y Electrónica
Palabras clave
Películas delgadas conductoras
Dispositivos electrónicos
Mediciones de conductividad
Control de calidad
Monitoreo de procesos
Electrónica flexible
Licencia
CC BY-SA – Atribución – Compartir Igual
Consultas: 37
Citaciones: Sin citaciones
Las películas delgadas conductoras son un componente esencial de muchos dispositivos electrónicos. Medir su conductividad de manera precisa es necesario para el control de calidad y monitoreo del proceso. Comparamos las mediciones de conductividad en películas para electrónica flexible utilizando tres técnicas diferentes: sonda de cuatro puntas, resonador de microondas y espectroscopía de dominio temporal de terahercios. Se examinaron múltiples muestras, facilitando la comparación de las tres técnicas. Se obtuvieron valores de resistencia de lámina en frecuencias de corriente continua, microondas y terahercios y se encontró que estaban en estrecho acuerdo.
Descripción
Las películas delgadas conductoras son un componente esencial de muchos dispositivos electrónicos. Medir su conductividad de manera precisa es necesario para el control de calidad y monitoreo del proceso. Comparamos las mediciones de conductividad en películas para electrónica flexible utilizando tres técnicas diferentes: sonda de cuatro puntas, resonador de microondas y espectroscopía de dominio temporal de terahercios. Se examinaron múltiples muestras, facilitando la comparación de las tres técnicas. Se obtuvieron valores de resistencia de lámina en frecuencias de corriente continua, microondas y terahercios y se encontró que estaban en estrecho acuerdo.