Rendimiento de matrices de plano focal InGaAs de infrarrojo de onda corta de doble banda con filtro de banda estrecha de interferencia
Autores: Deng, Honghai; Wang, Zhiliang; Shao, Haibao; Li, Yi; Li, Xue; Gong, Haimei
Idioma: Inglés
Editor: MDPI
Año: 2019
Acceso abierto
Artículo científico
2019
Rendimiento de matrices de plano focal InGaAs de infrarrojo de onda corta de doble banda con filtro de banda estrecha de interferencia
Categoría
Ingeniería y Tecnología
Subcategoría
Ingeniería Eléctrica y Electrónica
Palabras clave
Fabricado
De doble banda
InGaAs
Matrices de plano focal
SWIR
Infrarrojo
Licencia
CC BY-SA – Atribución – Compartir Igual
Consultas: 28
Citaciones: Sin citaciones
En este trabajo, fabricamos matrices de plano focal (FPAs) de indio galio arsénico (InGaAs) de doble banda de 800 x 2 en el infrarrojo de onda corta (SWIR) utilizando materiales de doble heteroestructura N-InP/i-InGaAs/N-InP, que suelen aplicarse en la teledetección del color del océano. Usando integración de filtros de interferencia de banda estrecha, nuestra estructura plana adoptada por el detector produjo dos canales de detección con longitudes de onda central de 1,24 y 1,64 um, y un ancho completo a la mitad del máximo (FWHM) de 0,02 um para ambos canales. Las características fotoeléctricas de la respuesta espectral, la función de transferencia de modulación (MTF) y la detectabilidad del detector fueron analizadas más a fondo. Nuestras FPAs mostraron una buena uniformidad de MTF con una operabilidad de píxeles de hasta el 100% para cada matriz lineal de 800 x 1. La detectividad máxima alcanzó 4,39 x 1012 y 5,82 x 1012 cm·Hz1/2/W a 278 K, respectivamente, y la no uniformidad de respuesta fue ideal en 2,48% y 2,61%, respectivamente. Como último paso, se llevó a cabo con éxito la imagen de detección infrarroja de doble banda en modo de escaneo continuo.
Descripción
En este trabajo, fabricamos matrices de plano focal (FPAs) de indio galio arsénico (InGaAs) de doble banda de 800 x 2 en el infrarrojo de onda corta (SWIR) utilizando materiales de doble heteroestructura N-InP/i-InGaAs/N-InP, que suelen aplicarse en la teledetección del color del océano. Usando integración de filtros de interferencia de banda estrecha, nuestra estructura plana adoptada por el detector produjo dos canales de detección con longitudes de onda central de 1,24 y 1,64 um, y un ancho completo a la mitad del máximo (FWHM) de 0,02 um para ambos canales. Las características fotoeléctricas de la respuesta espectral, la función de transferencia de modulación (MTF) y la detectabilidad del detector fueron analizadas más a fondo. Nuestras FPAs mostraron una buena uniformidad de MTF con una operabilidad de píxeles de hasta el 100% para cada matriz lineal de 800 x 1. La detectividad máxima alcanzó 4,39 x 1012 y 5,82 x 1012 cm·Hz1/2/W a 278 K, respectivamente, y la no uniformidad de respuesta fue ideal en 2,48% y 2,61%, respectivamente. Como último paso, se llevó a cabo con éxito la imagen de detección infrarroja de doble banda en modo de escaneo continuo.