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Implantación de Iones en Estructuras No Convencionales de GaN

Autores: Lorenz, Katharina

Idioma: Inglés

Editor: MDPI

Año: 2022

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Acceso abierto

Artículo científico
2022

Implantación de Iones en Estructuras No Convencionales de GaN


Categoría

Ciencias Naturales y Subdisciplinas

Subcategoría

Física

Palabras clave

Implantación de iones
Nitruros del grupo III
Procesos de acumulación de defectos
Temperaturas de recocido post-implantación
Estructuras de GaN
Acumulación de daños
Orientación de la superficie
Fallos de apilamiento basal
Bucles de dislocación
Nanohilos de GaN
Defectos extendidos
Activación de dopantes
Dopaje óptico
Dopaje eléctrico
Europio
Magnesio

Licencia

CC BY-SA – Atribución – Compartir Igual

Consultas: 18

Citaciones: Sin citaciones


Descripción
A pesar de más de dos décadas de investigación intensiva, la implantación de iones en nitruros del grupo III aún no se ha establecido como una técnica rutinaria para el dopaje y el procesamiento de dispositivos. Los principales desafíos a superar son los complejos procesos de acumulación de defectos, así como las altas temperaturas de recocido post-implantación necesarias para una activación eficiente de los dopantes. Esta revisión resume el contenido de una charla plenaria, dada en la Conferencia de Física Nuclear Aplicada, Praga, 2021, y se centra en los resultados recientes, obtenidos en el Instituto Superior Técnico (Lisboa, Portugal), sobre la implantación de iones en estructuras de GaN no convencionales, como películas delgadas no polares y nanohilos. Curiosamente, la acumulación de daños está fuertemente influenciada por la orientación de la superficie de las muestras, así como por su dimensionalidad. En particular, los defectos de apilamiento basal son los defectos de implantación dominantes en las películas de GaN en plano c, mientras que los bucles de dislocación predominan en las muestras en plano a. La implantación de iones en nanohilos de GaN, por otro lado, causa una densidad de defectos extendidos mucho menor en comparación con las películas delgadas. Finalmente, se revisan brevemente los recientes avances en la activación de dopantes, centrándose en el dopaje óptico con europio y el dopaje eléctrico con magnesio.

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