Los sensores basados en tecnología de sistemas microelectromecánicos (MEMS) han encontrado diversos campos de aplicación debido al avance en la tecnología de fabricación de semiconductores, que produce sensores sensibles, de bajo costo y potentes. Debido a la fabricación de diferentes componentes eléctricos y mecánicos en un solo chip y a los complejos pasos de proceso, los sensores MEMS son propensos a errores deterministas y aleatorios. Por lo tanto, las pruebas, la calibración y el control de calidad se han vuelto obligatorios para mantener la calidad y la fiabilidad de los sensores. Aquí es donde la Inteligencia Artificial (IA) puede proporcionar beneficios significativos, como el manejo de datos complejos, la realización de análisis de causa raíz, la estimación eficiente de características, la optimización de procesos, la mejora de productos, el ahorro de tiempo, la automatización, el diagnóstico y la detección de fallas, la compensación de deriva, la eliminación de ruido de señal, etc. A pesar de varios beneficios, la incorporación de la IA plantea múltiples desafíos. Este artículo de revisión proporciona un análisis sistemático y en profundidad de las aplicaciones de la IA en el campo de los sensores basados en MEMS, tanto para la adaptabilidad a nivel de producto como de sistema, analizando más de 100 artículos. Este documento resume el estado del arte, las tendencias actuales de las aplicaciones de IA en sensores MEMS y describe los desafíos de la incorporación de la IA en un entorno industrial para mejorar los procesos de fabricación. Finalmente, reflexionamos sobre todos los hallazgos basados en las tres preguntas de investigación propuestas para descubrir el futuro alcance de la investigación.