El método de corrección de optimización direccional (DOC) se propone para reducir el error de rendimiento entre los dispositivos de terahercios (THz) deseados y fabricados. Tres filtros de terahercios de 340 GHz con un ancho de banda de 20 GHz son diseñados y fabricados. El método de corrección de optimización global tradicional (GOC) y el método DOC propuesto se utilizan para optimizar y reducir el error de rendimiento, respectivamente. Se observa que el error de frecuencia central y el error de ancho de banda del filtro de terahercios fabricado y optimizado por el método GOC se reducen a 3.5 GHz (~1.03%) y 2.2 GHz (~11%), respectivamente. Mientras tanto, el error de frecuencia central y el error de ancho de banda del filtro de terahercios fabricado y optimizado por el método DOC se reducen a 0.2 GHz (~0.06%) y 0.4 GHz (~2.0%), respectivamente, lo que tiene menos parámetros de optimización y una mayor precisión que el método GOC. Además, la pérdida de retorno (RL) en banda de dos filtros de terahercios optimizados basados en los métodos DOC y GOC es inferior a 15 dB, y la pérdida de inserción (IL) en banda es inferior a 2.3 dB.