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Filtro de banda de paso conmutable integrado heterogéneo en 3D para aplicaciones de onda milimétrica

Autores: Wang, Zhiyu; Shu, Yujian; Ma, Siyuan; Guo, Xi; Yang, Wei; Ding, Xu; Lyu, Xiaofeng; Yu, Faxin

Idioma: Inglés

Editor: MDPI

Año: 2022

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Acceso abierto

Artículo científico
2022

Filtro de banda de paso conmutable integrado heterogéneo en 3D para aplicaciones de onda milimétrica


Categoría

Ingeniería y Tecnología

Subcategoría

Ingeniería Eléctrica y Electrónica

Palabras clave

Interruptor
Banco de filtros
Interposición
Cavidades
Aislamiento alto
Canales de filtro de banda ancha

Licencia

CC BY-SA – Atribución – Compartir Igual

Consultas: 42

Citaciones: Sin citaciones


Descripción
Este artículo propone un banco de filtros pasa banda conmutable tridimensional heterogéneo integrado (3DHI) con dos canales de filtro independientes de banda ancha que cubren 26-40 GHz y 32.5-40 GHz, respectivamente. Se presenta un proceso preciso a nivel de oblea con una alta proporción ahuecada de las obleas de interposición de silicio de alta resistividad (HR-Si) de 8 pulgadas aplicadas para formar ambos canales de filtro compactos. Por encima de los patrones de filtro interdigital fabricados en la oblea de interposición inferior, se graban cavidades profundas en la oblea de interposición de la tapa para mejorar el factor de calidad del banco de filtros. Además de las cavidades, la oblea de interposición de la tapa está hueca en un 35%, donde se adhieren dos dados desnudos de interruptores de doble tiro de polo único de arseniuro de galio (GaAs) y dos resistencias de película delgada a la oblea inferior después del enlace oblea a oblea (W2W). Para garantizar un buen rendimiento fuera de banda, se aplica una co-simulación electromagnética 3D del diseño del interruptor a nivel de chip y los patrones de filtro a nivel de paquete. Los resultados de las mediciones muestran que el banco de filtros conmutable logra un aislamiento alto de 50 dB y un factor de forma competitivo (BW/BW) de aproximadamente 1.3. Además, el tamaño del banco de filtros conmutable es solo de 7.0 mm x 3.5 mm x 0.6 mm, y el peso es solo de 0.1 g.

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