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Estudios Teóricos y Experimentales del Sobrepulido del Carburo de Silicio en el Pulido Anular

Autores: Zhang, Junjie; Han, La; Liu, Haiying; Shi, Yikai; Yan, Yongda; Sun, Tao

Idioma: Inglés

Editor: MDPI

Año: 2018

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Acceso abierto

Artículo científico
2018

Estudios Teóricos y Experimentales del Sobrepulido del Carburo de Silicio en el Pulido Anular


Categoría

Tecnología de Equipos y Accesorios

Subcategoría

Diseño de equipos y herramientas

Palabras clave

Tecnología de pulido
Mecanizado óptico
Superficie de espejo de alta precisión
Carburo de silicio
Sobrepulido
Modelo analítico

Licencia

CC BY-SA – Atribución – Compartir Igual

Consultas: 33

Citaciones: Sin citaciones


Descripción
La tecnología de pulido anular es un método de mecanizado óptico importante para lograr una superficie de espejo de alta precisión en carburo de silicio. Sin embargo, el inevitable sobrepulido del borde de la muestra en el pulido anular deteriora la calidad de superficie alcanzada. En el presente trabajo, primero investigamos analíticamente el acoplamiento cinemático de múltiples movimientos relativos en el proceso de pulido anular y posteriormente derivamos un modelo analítico que aborda el principio de eliminación de material en el borde de la muestra basado en la ecuación de Preston y el modelo de contacto de cuerpo rígido. Luego realizamos simulaciones por elementos finitos y experimentos que involucran el pulido anular de carburo de silicio (SiC), los cuales muestran conjuntamente un acuerdo con el modelo analítico derivado de eliminación de material.

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