Efecto de las tasas de flujo del gas portador en las propiedades estructurales y ópticas de las películas de ZnO depositadas utilizando una técnica de deposición por aerosol
Autores: Toe, May Zin; Tan, Wai Kian; Muto, Hiroyuki; Kawamura, Go; Matsuda, Atsunori; Yaacob, Khatijah Aisha Binti; Pung, Swee-Yong
Idioma: Inglés
Editor: MDPI
Año: 2022
Acceso abierto
Artículo científico
2022
Efecto de las tasas de flujo del gas portador en las propiedades estructurales y ópticas de las películas de ZnO depositadas utilizando una técnica de deposición por aerosol
Categoría
Ciencias de los Materiales
Subcategoría
Materiales electrónicos, ópticos y magnéticos
Palabras clave
Deposición de aerosol
Películas de óxido de zinc
Propiedades ópticas
Tasa de flujo de gas
Película delgada
Aplicaciones optoelectrónicas
Licencia
CC BY-SA – Atribución – Compartir Igual
Consultas: 15
Citaciones: Sin citaciones
La deposición por aerosol (AD) es un proceso simple de deposición de polvo seco en el que la película objetivo se forma mediante el bombardeo directo de polvo inicial acelerado sobre la superficie del sustrato a temperatura ambiente. A pesar del creciente interés en la formación de películas AD, no se ha realizado ningún trabajo para investigar sistemáticamente la formación de películas densas de óxido de zinc (ZnO) utilizando el método AD y sus propiedades ópticas. Por lo tanto, este estudio se llevó a cabo para investigar el efecto de la tasa de flujo de gas AD en la formación de películas AD y las propiedades ópticas de las películas de ZnO depositadas por aerosol. Las películas de ZnO con tamaño nanométrico.
Descripción
La deposición por aerosol (AD) es un proceso simple de deposición de polvo seco en el que la película objetivo se forma mediante el bombardeo directo de polvo inicial acelerado sobre la superficie del sustrato a temperatura ambiente. A pesar del creciente interés en la formación de películas AD, no se ha realizado ningún trabajo para investigar sistemáticamente la formación de películas densas de óxido de zinc (ZnO) utilizando el método AD y sus propiedades ópticas. Por lo tanto, este estudio se llevó a cabo para investigar el efecto de la tasa de flujo de gas AD en la formación de películas AD y las propiedades ópticas de las películas de ZnO depositadas por aerosol. Las películas de ZnO con tamaño nanométrico.