Un estudio sobre la reducción de gases de efecto invernadero (PFCs) en scrubbers de plasma para lograr la neutralidad de carbono en semiconductores y pantallas
Autores: Lee, Bong Jae; Hwang, Yujin; Jo, Dong Ki; Jeong, Jongmoon
Idioma: Inglés
Editor: MDPI
Año: 2023
Acceso abierto
Artículo científico
2023
Un estudio sobre la reducción de gases de efecto invernadero (PFCs) en scrubbers de plasma para lograr la neutralidad de carbono en semiconductores y pantallas
Categoría
Ciencias Naturales y Subdisciplinas
Subcategoría
Astronomía
Palabras clave
Compuestos perfluorados
PFCs
Depuradores húmedos de plasma
DRE
Reducción de emisiones
Gases de efecto invernadero
Licencia
CC BY-SA – Atribución – Compartir Igual
Consultas: 6
Citaciones: Sin citaciones
Los compuestos perfluorados (PFC) se utilizan con fines de fabricación en las industrias de semiconductores y pantallas, lo que resulta en una mayor necesidad de reducción de emisiones debido al significativo potencial de calentamiento global de los gases de efecto invernadero asociados. Se investigaron las características de descomposición de los depuradores de plasma-húmedo tipo grabado y tipo película de agua (WF). Los PFC utilizados en el estudio fueron CF, SF, NF, CHF, CF, CF y CF, y se confirmó la eficiencia de eliminación de destrucción (DRE) y la tasa de generación de gases secundarios en función de los cambios en los parámetros (caudal total y potencia) del depurador de plasma-húmedo. Cuando el caudal total alcanzó 100 L/min y la potencia máxima medida (11 kW), la eficiencia de reducción de CF en el tipo grabado fue del 95.60% y la DRE de otros PFC fue del 99.99%. Además, para el tipo WF, la DRE de CF fue del 90.06%, la de SF fue del 96.44%, y la de otros PFC fue del 99.99%. Cuando el caudal total alcanzó 300 L/min y 11 kW, la DRE de SF en el tipo grabado fue del 99%, y la DRE de NF, CHF, CF, CF y CF fue del 95.57%, 87.06%, 70.74%, 81.45% y 95.59%, respectivamente. Además, en el tipo WF, la DRE de SF fue del 94.39%, y la DRE de NF, CHF, CF, CF y CF fue del 99.80%, 95.34%, 85.38%, 88.49% y 98.22%, respectivamente. La eficiencia de descomposición fue alta para el tipo grabado para gases con caudales pequeños o sin generación de gases secundarios. La tasa de generación de gases secundarios fue significativamente menor para el tipo WF.
Descripción
Los compuestos perfluorados (PFC) se utilizan con fines de fabricación en las industrias de semiconductores y pantallas, lo que resulta en una mayor necesidad de reducción de emisiones debido al significativo potencial de calentamiento global de los gases de efecto invernadero asociados. Se investigaron las características de descomposición de los depuradores de plasma-húmedo tipo grabado y tipo película de agua (WF). Los PFC utilizados en el estudio fueron CF, SF, NF, CHF, CF, CF y CF, y se confirmó la eficiencia de eliminación de destrucción (DRE) y la tasa de generación de gases secundarios en función de los cambios en los parámetros (caudal total y potencia) del depurador de plasma-húmedo. Cuando el caudal total alcanzó 100 L/min y la potencia máxima medida (11 kW), la eficiencia de reducción de CF en el tipo grabado fue del 95.60% y la DRE de otros PFC fue del 99.99%. Además, para el tipo WF, la DRE de CF fue del 90.06%, la de SF fue del 96.44%, y la de otros PFC fue del 99.99%. Cuando el caudal total alcanzó 300 L/min y 11 kW, la DRE de SF en el tipo grabado fue del 99%, y la DRE de NF, CHF, CF, CF y CF fue del 95.57%, 87.06%, 70.74%, 81.45% y 95.59%, respectivamente. Además, en el tipo WF, la DRE de SF fue del 94.39%, y la DRE de NF, CHF, CF, CF y CF fue del 99.80%, 95.34%, 85.38%, 88.49% y 98.22%, respectivamente. La eficiencia de descomposición fue alta para el tipo grabado para gases con caudales pequeños o sin generación de gases secundarios. La tasa de generación de gases secundarios fue significativamente menor para el tipo WF.