El propósito de este documento fue investigar la influencia de la incertidumbre en el proceso de fabricación en la calidad de la metasuperficie de terahercios. El enfoque se centró en el efecto de la inexactitud en la fabricación de la metasuperficie en las resonancias. Hasta donde sabemos, este es el primer documento que estudia el efecto del proceso de fabricación de la metasuperficie en su frecuencia de resonancia. Se considera la metasuperficie basada en resonadores de anillos divididos de terahercios. Utilizando un modelo numérico, se analiza la influencia de la incertidumbre de varios parámetros geométricos obtenidos durante el proceso de fabricación (principalmente la deposición de capas, la fotolitografía y los procesos de grabado) de acuerdo con la resonancia de la metasuperficie diseñada. La influencia de los siguientes parámetros provoca un desplazamiento de las frecuencias resonantes de la metasuperficie considerada: desviación en el grabado, espesor de metalización y espesor de la capa de SiO. La calidad de la metasuperficie afectada por las variaciones de los parámetros geométricos obtenidos se determinó por la desviación de la frecuencia resonante. El modelo numérico desarrollado fue verificado mediante mediciones de THz-TDS (espectroscopía de dominio temporal de terahercios) de la estructura fabricada.