Elevando la inspección de defectos en obleas con el modelo probabilístico de difusión de desenfoque
Autores: Wu, Ping-Hung; Hoang, Thi Phuong; Chou, Yen-Ting; Mayol, Andres Philip; Lai, Yu-Wei; Kang, Chih-Hsiang; Chan, Yu-Cheng; Lin, Siou-Zih; Chen, Ssu-Han
Idioma: Inglés
Editor: MDPI
Año: 2024
Acceso abierto
Artículo científico
2024
Elevando la inspección de defectos en obleas con el modelo probabilístico de difusión de desenfoque
Categoría
Matemáticas
Subcategoría
Matemáticas generales
Palabras clave
Circuitos integrados
Industria de semiconductores
Inspección de defectos en obleas
Modelo probabilístico de difusión de denoising
Distancia de Inception de Fréchet
Conjunto de datos de defectos aumentado
Licencia
CC BY-SA – Atribución – Compartir Igual
Consultas: 31
Citaciones: Sin citaciones
Los circuitos integrados (ICs) son componentes críticos en la industria de semiconductores, y la inspección precisa de defectos en obleas es esencial para mantener la calidad y el rendimiento del producto.
Descripción
Los circuitos integrados (ICs) son componentes críticos en la industria de semiconductores, y la inspección precisa de defectos en obleas es esencial para mantener la calidad y el rendimiento del producto.