El impacto de la capa interfacial de ZrO pre-annealed en el comportamiento ferroeléctrico de HfZrO
Autores: Yuan, Xiaobo; Liu, Zongfang; Qi, Jiabin; Xiao, Jinpan; He, Huikai; Tang, Wentao; Lee, Choonghyun; Zhao, Yi
Idioma: Inglés
Editor: MDPI
Año: 2023
Acceso abierto
Artículo científico
2023
El impacto de la capa interfacial de ZrO pre-annealed en el comportamiento ferroeléctrico de HfZrO
Categoría
Ingeniería y Tecnología
Subcategoría
Ingeniería Eléctrica y Electrónica
Palabras clave
Impacto
ZrO prerecocido
Comportamiento ferroeléctrico
Capacitores HZO
Polarización remanente
Fase ortorrómbica
Licencia
CC BY-SA – Atribución – Compartir Igual
Consultas: 34
Citaciones: Sin citaciones
Este trabajo investiga sistemáticamente el impacto de una capa interfacial de ZrO preanilada en el comportamiento ferroeléctrico de los capacitores de HfZr0.O (HZO).
Descripción
Este trabajo investiga sistemáticamente el impacto de una capa interfacial de ZrO preanilada en el comportamiento ferroeléctrico de los capacitores de HfZr0.O (HZO).