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Dispositivos MEMS deformables con campo de borde: modelos, condiciones de unicidad y recuperación del perfil de membrana

Autores: Versaci, Mario; Di Barba, Paolo

Idioma: Inglés

Editor: MDPI

Año: 2022

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Acceso abierto

Artículo científico
2022

Dispositivos MEMS deformables con campo de borde: modelos, condiciones de unicidad y recuperación del perfil de membrana


Categoría

Ingeniería y Tecnología

Subcategoría

Ingeniería Eléctrica y Electrónica

Palabras clave

Particular
Diferencial
Elíptico
Membrana
Campo de borde
Condición de unicidad

Licencia

CC BY-SA – Atribución – Compartir Igual

Consultas: 34

Citaciones: Sin citaciones


Descripción
Un modelo elíptico semi-lineal diferencial de segundo orden particular para dispositivos MEMS de membrana electrostática, bien conocido en la literatura, considera que la amplitud del campo eléctrico es localmente proporcional a la curvatura geométrica de la membrana, que contiene un término que involucra el campo de borde según la teoría de Pelesko y Driscoll.

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