Dispositivos MEMS deformables con campo de borde: modelos, condiciones de unicidad y recuperación del perfil de membrana
Autores: Versaci, Mario; Di Barba, Paolo
Idioma: Inglés
Editor: MDPI
Año: 2022
Acceso abierto
Artículo científico
2022
Dispositivos MEMS deformables con campo de borde: modelos, condiciones de unicidad y recuperación del perfil de membrana
Categoría
Ingeniería y Tecnología
Subcategoría
Ingeniería Eléctrica y Electrónica
Palabras clave
Particular
Diferencial
Elíptico
Membrana
Campo de borde
Condición de unicidad
Licencia
CC BY-SA – Atribución – Compartir Igual
Consultas: 34
Citaciones: Sin citaciones
Un modelo elíptico semi-lineal diferencial de segundo orden particular para dispositivos MEMS de membrana electrostática, bien conocido en la literatura, considera que la amplitud del campo eléctrico es localmente proporcional a la curvatura geométrica de la membrana, que contiene un término que involucra el campo de borde según la teoría de Pelesko y Driscoll.
Descripción
Un modelo elíptico semi-lineal diferencial de segundo orden particular para dispositivos MEMS de membrana electrostática, bien conocido en la literatura, considera que la amplitud del campo eléctrico es localmente proporcional a la curvatura geométrica de la membrana, que contiene un término que involucra el campo de borde según la teoría de Pelesko y Driscoll.