En este documento se presentan los resultados del modelado y simulación de un microcolumna. El microcolumna es parte de un microscopio electrónico MEMS en miniatura desarrollado equipado con una microbomba de alto vacío MEMS en miniatura. Tal disposición convierte a este dispositivo en el primer dispositivo óptico electrónico en miniatura independiente que opera sin una cámara de alto vacío externa. Antes de que se pueda fabricar un dispositivo de este tipo, se debe llevar a cabo una investigación sobre elementos particulares para determinar los principios de funcionamiento del dispositivo. Los resultados de los cálculos descritos en este artículo nos ayudan a comprender el funcionamiento de un microcolumna con orificios cuadrados en los electrodos. Se discute la formación de un punto de haz de electrones en el ánodo. Cálculos y resultados adicionales muestran la dependencia del tamaño de la lente Einzel en el diámetro del punto de haz de electrones, la corriente del haz de electrones y la tensión de enfoque del microcolumna. Los resultados se utilizan para definir el diseño óptimo del microscopio electrónico MEMS desarrollado.