Diseño de alta velocidad con estrechamiento separado para reducir el par de arrastre y el rizado de par de un motor de bomba de vacío seca de 3 kW para el proceso ETCH
Autores: Choi, Do-Hyeon; Yang, In-Jun; Hong, Min-Ki; Jung, Dong-Hoon; Kim, Won-Ho
Idioma: Inglés
Editor: MDPI
Año: 2023
Acceso abierto
Artículo científico
2023
Diseño de alta velocidad con estrechamiento separado para reducir el par de arrastre y el rizado de par de un motor de bomba de vacío seca de 3 kW para el proceso ETCH
Categoría
Tecnología de Equipos y Accesorios
Subcategoría
Diseño de equipos y herramientas
Palabras clave
Método de diseño
Par de arrastre
Ondulación de par
IPMSMs
Bobinado concentrado
Imanes permanentes
Licencia
CC BY-SA – Atribución – Compartir Igual
Consultas: 20
Citaciones: Sin citaciones
Este documento propone un método de diseño para reducir el par de arrastre y el rizado de par en el bobinado concentrado de los motores síncronos de imán permanente interior (IPMSMs) utilizados en motores para el proceso de grabado de semiconductores. Los IPMSMs pueden utilizar el par de reluctancia a través de la diferencia de inductancia entre el eje d y el eje q, pero tienen desventajas en términos de reducción del par de arrastre mientras se afila el rotor y el estator para reducir el rizado de par. Además, el afilado único existente puede empujar los imanes permanentes hacia el rotor. Si los imanes permanentes del rotor están incrustados, la reluctancia magnética aumentará y el rendimiento general del motor disminuirá. Sin embargo, se derivó un método de diseño óptimo en el que los imanes no se mueven durante el afilado del rotor. Este diseño geométrico es un método de diseño óptimo que reduce el par de arrastre y el rizado de par. Este documento compara y analiza cuatro modelos: el modelo de bobinado concentrado, el modelo de bobinado distribuido, el modelo de afilado convencional y el modelo de afilado separado, utilizando análisis de elementos finitos (FEA) en 2D y 3D.
Descripción
Este documento propone un método de diseño para reducir el par de arrastre y el rizado de par en el bobinado concentrado de los motores síncronos de imán permanente interior (IPMSMs) utilizados en motores para el proceso de grabado de semiconductores. Los IPMSMs pueden utilizar el par de reluctancia a través de la diferencia de inductancia entre el eje d y el eje q, pero tienen desventajas en términos de reducción del par de arrastre mientras se afila el rotor y el estator para reducir el rizado de par. Además, el afilado único existente puede empujar los imanes permanentes hacia el rotor. Si los imanes permanentes del rotor están incrustados, la reluctancia magnética aumentará y el rendimiento general del motor disminuirá. Sin embargo, se derivó un método de diseño óptimo en el que los imanes no se mueven durante el afilado del rotor. Este diseño geométrico es un método de diseño óptimo que reduce el par de arrastre y el rizado de par. Este documento compara y analiza cuatro modelos: el modelo de bobinado concentrado, el modelo de bobinado distribuido, el modelo de afilado convencional y el modelo de afilado separado, utilizando análisis de elementos finitos (FEA) en 2D y 3D.