Desarrollo de sensor de temperatura basado en resonadores SAW de AlN/ScAlN
Autores: Wei, Min; Liu, Yan; Qu, Yuanhang; Gu, Xiyu; Wang, Yilin; Liu, Wenjuan; Cai, Yao; Guo, Shishang; Sun, Chengliang
Idioma: Inglés
Editor: MDPI
Año: 2023
Acceso abierto
Artículo científico
2023
Desarrollo de sensor de temperatura basado en resonadores SAW de AlN/ScAlN
Categoría
Ingeniería y Tecnología
Subcategoría
Ingeniería Eléctrica y Electrónica
Palabras clave
Monitorización de temperatura
Sensores MEMS
Dispositivos de ondas acústicas de superficie basados en AlN/ScAlN
Medición de temperatura pasiva inalámbrica
Sensores de temperatura
Resonador SAW de película delgada
Características de temperatura
Licencia
CC BY-SA – Atribución – Compartir Igual
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Citaciones: Sin citaciones
La monitorización de temperatura en entornos extremos presenta nuevos desafíos para los sensores MEMS. Dado que los dispositivos de ondas acústicas de superficie (SAW) basados en nitruro de aluminio (AlN)/nitruro de aluminio de escandio (ScAlN) tienen un alto valor Q, buenas características de deriva de temperatura y la capacidad de ser compatibles con CMOS, se han convertido en algunos de los dispositivos preferidos para la medición de temperatura pasiva inalámbrica.
Descripción
La monitorización de temperatura en entornos extremos presenta nuevos desafíos para los sensores MEMS. Dado que los dispositivos de ondas acústicas de superficie (SAW) basados en nitruro de aluminio (AlN)/nitruro de aluminio de escandio (ScAlN) tienen un alto valor Q, buenas características de deriva de temperatura y la capacidad de ser compatibles con CMOS, se han convertido en algunos de los dispositivos preferidos para la medición de temperatura pasiva inalámbrica.