La espectrometría de masas con plasma acoplado inductivamente es una técnica analítica poderosa. Debido a su sensibilidad, precisión, capacidad multielemento, alto rendimiento, tiempos de análisis rápidos y bajos límites de detección, es capaz de determinar simultáneamente radionúclidos de larga vida en niveles de traza y ultra-traza, así como relaciones isotópicas. Se ha aplicado cada vez más en el marco de experimentos de eventos raros, como aquellos que investigan la naturaleza de la materia oscura y los neutrinos, donde la selección y el cribado de materiales extremadamente radiopuros para el aparato experimental son cruciales. Aquí se informan las mediciones de espectrometría de masas con plasma acoplado inductivamente (ICP-MS) de la pureza química de un cristal centelleador utilizado para estudiar la desintegración alfa de isótopos de Hf que ocurren naturalmente y de sus propias materias primas. Además, en el marco del experimento GERDA/LEGEND, se presenta una visión general de los resultados de ICP-MS para monitorear el proceso de reciclaje de chatarra de germanio enriquecido. Se han logrado resultados significativos, como bajos límites de detección a pesar de la pequeña cantidad de muestra a analizar y resultados rápidos de ICP-MS, en respuesta a los desafíos requeridos por los modernos experimentos de bajo fondo.