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Caracterización y corrección de los errores geométricos en el uso de un microscopio confocal para la medición de topografía extendida. parte i: desarrollo, validación y modelos de algoritmos

Autores: Wang, Chen; Gómez, Emilio; Yu, Yingjie

Idioma: Inglés

Editor: MDPI

Año: 2019

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Acceso abierto

Artículo científico
2019

Caracterización y corrección de los errores geométricos en el uso de un microscopio confocal para la medición de topografía extendida. parte i: desarrollo, validación y modelos de algoritmos


Categoría

Ingeniería y Tecnología

Subcategoría

Ingeniería Eléctrica y Electrónica

Palabras clave

Caracterizando
Corrigiendo
Errores geométricos
Movimiento
Etapa lateral
Medición

Licencia

CC BY-SA – Atribución – Compartir Igual

Consultas: 33

Citaciones: Sin citaciones


Descripción
Este trabajo presenta un método para caracterizar y corregir los errores geométricos del movimiento del escenario lateral del Microscopio Confocal de Imágenes (CM) en la medición de topografía extendida.

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