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Caracterización y corrección de los errores geométricos utilizando un microscopio confocal para la medición de topografía extendida, parte II: estudio experimental y evaluación de incertidumbre

Autores: Wang, Chen; Gómez, Emilio; Yu, Yingjie

Idioma: Inglés

Editor: MDPI

Año: 2019

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Acceso abierto

Artículo científico
2019

Caracterización y corrección de los errores geométricos utilizando un microscopio confocal para la medición de topografía extendida, parte II: estudio experimental y evaluación de incertidumbre


Categoría

Ingeniería y Tecnología

Subcategoría

Ingeniería Eléctrica y Electrónica

Palabras clave

Modelos matemáticos
Algoritmos
Experimentos
Coeficientes de corrección
Incertidumbres
Método de Monte Carlo

Licencia

CC BY-SA – Atribución – Compartir Igual

Consultas: 28

Citaciones: Sin citaciones


Descripción
Este documento presenta las implementaciones experimentales de los modelos matemáticos y algoritmos desarrollados en la Parte I. Dos experimentos son llevados a cabo. El primer experimento determina los coeficientes de corrección del modelo matemático. El objetivo de la rejilla de puntos es medido y los datos de la medición son procesados por nuestros algoritmos desarrollados y validados introducidos en la Parte I. Los valores de los coeficientes son indicados y analizados. Las incertidumbres son evaluadas utilizando el método de Monte Carlo. El segundo experimento mide un área diferente del objetivo de la rejilla de puntos. Los resultados de la medición son corregidos de acuerdo a los coeficientes determinados en el primer experimento. El residuo medio entre los puntos medidos y sus valores certificados correspondientes se redujo un 29.6% después de la corrección. La suma de errores al cuadrado se redujo un 47.7%. Los métodos y algoritmos para el procesamiento de datos crudos, como la partición de datos, ajustes de los centros de los puntos, agrupamiento por K-medias, etc., son los mismos para los dos experimentos. Los resultados experimentales demuestran que nuestro método para la corrección de los errores producidos por el movimiento del escenario lateral de un microscopio confocal es significativo y practicable.

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