Los deslizadores lineales son actuadores lineales que utilizan motores lineales. Se utilizan en muchas aplicaciones, como líneas de fábrica y automóviles con motores lineales. En los últimos años, la demanda de dispositivos semiconductores más pequeños ha ido en aumento debido a la proliferación de teléfonos inteligentes. Se necesita un posicionamiento de alta precisión de los motores lineales porque la fabricación de dispositivos semiconductores utiliza una plataforma con motores lineales. Sin embargo, los motores lineales tienen no linealidad debido a la dependencia de posición del flujo de interconexión. Esto afecta el posicionamiento preciso. En este estudio, las características no lineales debido a la dependencia de posición del flujo se expresan como un modelo matemático utilizando un circuito magnético de constante distribuida. Se propone un método de compensación utilizando un controlador de retroalimentación basado en operadores con el modelo matemático obtenido. La efectividad del método propuesto se confirma mediante simulaciones y experimentos con la eliminación de perturbaciones de seguimiento de referencia.