Cualquier imagen 3D de AFM es una convolución de la geometría de la punta de AFM y el perfil de la muestra escaneada, especialmente cuando las dimensiones de la muestra escaneada son comparables a las de la forma de la punta de AFM. El perfil preciso de la muestra escaneada se puede extraer de la imagen 3D de AFM si se conoce la geometría de la punta de AFM. Por lo tanto, para separar la geometría de la punta de la sonda de AFM de la imagen 3D de AFM de un retículo de difracción con un perfil rectangular y corregir las convoluciones topográficas inducidas por la punta de la sonda de AFM, se utiliza un método para evaluar cuantitativamente la geometría de la punta de la sonda de AFM, incluyendo el radio de la punta y el ángulo incluido. Se propone un modelo para reconstruir la imagen medida de AFM para corregir las convoluciones topográficas causadas por la forma de la punta de AFM al escanear un retículo de difracción con perfiles rectangulares. Se realizaron una serie de experimentos para verificar la efectividad del método propuesto para la evaluación de la geometría de la punta de AFM, y se llevaron a cabo experimentos de comparación para demostrar la viabilidad y fiabilidad del modelo de reconstrucción propuesto.