Este estudio realizó una evaluación comparativa de dos diseños de ventiladores de flujo cruzado sin rodamientos para aplicaciones en láseres excimer de litografía en ultravioleta profundo, donde maximizar la velocidad y potencia del ventilador tiene una influencia directa en el rendimiento y la velocidad de escaneo de estos dispositivos. El uso de tecnología de motores sin rodamientos permite una generación combinada de fuerza de soporte y par de accionamiento, lo que conduce a un sistema de accionamiento compacto, herméticamente sellado y de fácil mantenimiento. Con motores sin rodamientos idénticos en ambos lados del rotor, es posible accionar el ventilador de flujo cruzado de manera simétrica a altas velocidades de rotación con bajas cargas de torsión. Los prototipos de rotor fueron optimizados, analizados y llevados a operación a alta velocidad, y se evaluaron en cuanto a su rendimiento dinámico del rotor y dinámico de fluidos utilizando métodos de elementos finitos y mediciones experimentales. Para ambos prototipos, se realizaron estudios numéricos exitosos, donde un análisis modal permitió predicciones teóricas de las frecuencias de resonancia esperadas, y un análisis CFD visualizó efectos de flujo locales y proporcionó comparaciones de diseño de ventiladores de flujo cruzado. Se logró una operación estable de hasta 12,000 rpm y 5500 rpm para los dos diseños elaborados.